產品參數
極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a
膜厚均勻性 ≥97% 重復性 ≥97%
基片尺寸 ≤200×200mm
樣品腔標準為10層卡夾 可存放基片與mask
適用范圍
OLED材料量產前驗證、微顯示器件的研發等。
核心技術
真空密封設計、高精密對位、膜厚及真空壓力控制。
產品特色
一體化程度高，適配性強，可對接多種功能的設備。
智能性強，操作系統植入誤操作互鎖程序，可避免操作失誤。
可實現自動取放基片以及更換mask。
功能性強，有2 0 組蒸發源，可做到多源共蒸，幾乎滿足所有的蒸鍍要求。
