產品定位
中試線
適用范圍
OLED材料量產前驗證、微顯示器件的生產等。
核心技術
真空密封技術、高精密對位技術、膜厚及真空壓力精確控制技術。
產品特色
一體化程度高,適配性強,采用團簇式結構,可對接多種功能的設備。
智能性強,操作系統植入誤操作互鎖程序,可避免操作失誤。
效率高,采用較大容積的坩堝和雙探頭設計,避免了經常性的開腔添加材料和更換晶振片。
可實現自動取放基片以及更換mask。